等离子清洗机

产品介绍

等离子清洗机通过辉光放电产生的等离子体，其中的高能电子、离子、自由基等活性粒子能够与污染物发生物理碰撞或化学反应，将污染物分解为挥发性气体（如 CO₂、H₂O 等），并通过真空泵排出，从而实现对光学元件表面的高效清洁。

常压：等离子表面处理机由等离子发生器，气体输送管 路及等离子喷头等部分组成。等离子发生器产生高压高频能量在喷嘴钢管中被激活 和被控制的辉光放电中产生低温等离子体。等离子体中粒子能量一般约为几个至几十电子伏特，大于聚合物材料的结合键能，完全可以破裂有机大分子的 化学键而形成新键，但远低于高能放射性射线，只涉及材 料表面，不影响基体的性能。处于非热力学平衡状态下的低温等离子体中，电子具 有较高的能量，可以断裂材料表面分子的化学键，提高粒 子的化学反应活性(大于热等离子体),而中性粒子的温度 接近室温，这些优点为热敏性高分子聚合物表面改性提供 了适宜的条件。

低压：等离子清洗/刻蚀机产生等离子体的装置是在密封容 器中设置两个电极形成电场，用真空泵实现一定真空度。随着气体愈来愈稀薄，分子间距及分子或离子的自由 运动距离也愈来愈长，受电场作用，它们发生碰撞而形成 等离子体，这些离子的活性很高，其能量足以破坏几乎所 有的化学键，在任何暴露的表面引起化学反应。不同气体的等离子体具有不同的化学性能，如氧气的 等离子体具有很高的氧化性，能氧化光刻胶反应，生成气 体，从而达到清洗的效果；腐蚀性气体的等离子体具有很 好的各向异性，这样就能满足刻蚀的需要。利用等离子处理时会发出辉光，故称之为辉光放电处理。

适用场景

光学行业：光学镜片、镜头的油污及指纹去除，避免传统清洗划伤表面；

电子制造：PCB 电路板表面活化、去除助焊剂残留，半导体芯片封装前的精密清洁；

医疗器械：手术器械、植入体（如人工关节）的灭菌与表面改性，提升生物相容性；

汽车工业：汽车灯具、传感器等部件的表面清洁与活化，增强涂层附着力；

新材料领域：高分子材料、复合材料的表面处理，改善其粘接、印刷性能；

包装行业：塑料薄膜、金属箔等包装材料的表面活化，提升印刷或复合牢度

产品规格

本设备可根据不同的产品规格、产能设计开发、生产制造。